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真空泵维修原理和各部件分析 辅助抽气系统:
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。
排气流程为:
机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用
早用于广播、通信和雷达的电子器件是真空电子管,主要是控制由阴极发射到真空中的自由电子,用于信号的振荡、调制、发射、检测、放大、存储和加工.电子管器件的制造,要求真空卫生和真空纯洁,微电子器件的产生是建立在高纯锗、硅材料的基础上的,在材料和器件加工过程中,要求保持比高纯还好的半导体纯和高度有序的晶体结构。
而微电子器件的下一代的纳米电子器件,要求所用材料和组装加工过程应该好于半导体纯,更少的杂质和缺陷,更完善的晶体结构,所以在研究纳米电子器件时,将更多地采用高真空,甚至真空进行材料制备和器件组装。
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真空泵维修原理和机械泵分析
机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。
机械泵常常被用来抽除干燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体,机械泵一般被用来抽除性的气体,但是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、密封垫片等,转子在定子里面但与定子不同心轴,象两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两弹片中间装有弹簧,---了弹片紧紧贴在定子的内壁。
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