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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

早用于广播、通信和雷达的电子器件是真空电子管,主要是控制由阴极发射到真空中的自由电子,用于信号的振荡、调制、发射、检测、放大、存储和加工.电子管器件的制造,要求真空卫生和真空纯洁,微电子器件的产生是建立在高纯锗、硅材料的基础上的，在材料和器件加工过程中，要求保持比高纯还好的半导体纯和高度有序的晶体结构。

而微电子器件的下一代的纳米电子器件，要求所用材料和组装加工过程应该好于半导体纯，更少的杂质和缺陷，更完善的晶体结构，所以在研究纳米电子器件时，将更多地采用高真空，甚至真空进行材料制备和器件组装。

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