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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

近些年北京大学和科学院北京真空物理实验室重点研究有机复合薄膜的密度信息存储器件，其制备的关键技术是纳米厚度的高功能薄膜。当今的薄膜形成过程中能够保持真空纯洁环境，故可以得到高的薄膜。物理气相沉积（pvd）技术主要有蒸发、溅射镀、离子镀、分束外延和离子团束镀等。

在分析了真空方法制备有机功能薄膜的几种技术后，经比较认为，离子团束（icb）沉积技术用于制备有机功能薄膜是适用的。它是将材料蒸发经过绝热膨胀过程，电离过程形成荷电原子团，经历加速被沉积到基底上。原子在基底表---有较大的迁移率，这有利于薄膜的成核和晶粒生长，形成高的薄膜，通过控制绝热过程，电离电压，加速电压和基底温度可以制成晶体、多晶或无定形薄膜。

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