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真空泵维修的应用技术
用离子团束和高真空沉积技术研制了用于密度信息存储的有机和金属有机纳米薄膜，其中主要有两类：一类是银/有机（如ag－cpu）复合薄膜，用扫描隧道显微镜（stm）的电压脉冲写入信号斑直径为10nm，可以稳定地写入和读出0和1信号。
用半导体激光器薄膜读写装置（波长为780nm）研究了ag－cpu薄膜的光学存储特性，结果表明光脉冲10.4mw，宽10μs写入信号；7.0mw，宽1ms光脉冲可以擦除信号；1.1mw可以稳定读取信号。
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真空泵维修的保养维护方法
针对真空泵维修使用过程中出现的一些问题，真空泵维修---总结出了以下关于真空镀膜机真空泵的日常保养以及维护方法。
1、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和滑阀真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
2、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以---真空泵在点运转，才能提高节能的效果。
3、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，上至温度不得超过80℃。
4、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
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真空泵维修薄膜加工中的应用
微电子器件是现代高速计算机和个人计算机的基础,当今在某些发达,微电子和计算机工业已经超过了能源、材料、交通和钢铁工业而占---产值的。在电子工业和计算机工业的发展中,真空泵维修科学与技术做出了重要贡献。
微电子器件的发展,将推动人类社会更快地进步。微电子器件的发展趋势是---集成电路,集成度越来越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越来越小。其规律是莫尔（moore）定律所描述的,每18个月同样大小芯片上的元件数增加一倍。过去20年是这样,电子学家预言,未来的15年仍是这样。
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