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干式真空系统流程及应用
气体冷却模块
该泵能在其性能范围的任何点操作。同时,还可以预先设定需要的操作曲线。变速操作允许灵活的操作并减小能量消耗;
该模块可以测量真空系统中的不同的过程压力;
在选用了驱动控制时,可以使用操作显示模块,该模块可以向操作人显示 参数,如速度、压力、扭矩、温度,可以简单地使用按钮控制,也可以使用lcd 显示;
另外,可提供para参数修正模块。不是使用plc 程序,而是使用para 软件,能够让工艺---修正的特定参数,该参数由客户决定,如温度上下限、速度、压力、设置、加热循环等。
为提供将来长期运行的适用性,需要基于计算机的标准视窗。当配置有远程诊断模块,客户能够设定与检查控制系统与参数,从而对泵进行远程监控。
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真空系统真空机组
真空机组的组成
通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道,该管路上的阀门称为前级管道阀,而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。
总起来说,一个较完善的真空系统由下列元件组成:
1.抽气设备:例如各种真空泵;
2.真空阀门;
3.连接管道;
4.真空测量装置:例如真空压力表、各种规管;
5.其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
那么,究竟什么是真空系统?用一句话来概括,就是:用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。真空机组设计的基本内容:是根据被抽容器对真空度的要求,选择适当的真空系统设计方案,进行选、配泵计算;应正确地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置,后划出真空系统装配图和零部件图。
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真空机组主泵如何选择
1、粗算主泵的抽速:由于在选定主泵之前,真空室出口到主泵入口之间的管路没有确定,因而这段管路的流导是未知数。无法计算主泵的抽速。通常按经验公式粗算主泵的抽速。
2、验算主泵的抽速:根据粗选出的主泵的入口尺寸。选择确定主阀、捕集器和连接管道,划出主泵入口至真空室出口之间管路草图。当抽气达到设定的时间(即所要求的真空度)时,即抽气结束,抽气指示灯熄灭,充气指示灯亮,以示充气开始。利用计算公式计算出被抽容器出口到主泵入口之间高真空管路的流导,再按式计算粗选主泵对真空室出口的有效抽速,若大于或等于被抽容器所要求的有效抽速则认为粗选的主泵的大小合乎要求,否则应重新粗选主泵,再进行验算,直至合乎真空机组的要求为止。
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