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真空泵维修原理和各部件分析 辅助抽气系统:
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。
排气流程为:
机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
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1真空泵维修的属性
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·耐久的表面,在各种基本的空气和直射阳光环境条件下长久保持---外观。
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pvd膜层抵抗力
·耐腐蚀,化学性能稳定。
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·容易清除油漆和笔迹。
·在---的阳光,咸的湿地和城市环境下,都不失去光泽,不氧化,---,不脱落和爆裂。
膜层颜色种类繁多,表面细腻光滑,富有金属光泽。
在烈日、潮湿等---环境中不变色、不脱落,性能稳定。
高度耐磨损,耐刮擦,不易划伤。
可镀材料广泛,与基体结合力强。
高真空离子镀膜技术——对人体和生态环境真正无害。
经济性:节约(减少)了一般镀铜(金)产品所需清洁磨光的时间和花费,使用一块软布和玻璃清洁剂即可清洁干净pvd膜层。
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